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干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用愛發(fā)科干式真空泵 HR/UR Series維修保養(yǎng)

干泵LR/HR/UR series通過獨(dú)自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。 另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機(jī)種都能適用愛發(fā)科干式真空泵LR/HR/UR Series維修保養(yǎng)

干泵GR series是以有實(shí)際和信賴的LR,HR系列為基礎(chǔ)，面向一般產(chǎn)業(yè)用途設(shè)計的簡單構(gòu)造泵。日本愛發(fā)科GR系列干式真空泵維修保養(yǎng)GR60A

干泵CR series Ver.B是獲得規(guī)格（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型泵。運(yùn)轉(zhuǎn)時排氣室內(nèi)不使用油，轉(zhuǎn)子和汽缸也無接觸，可長時間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。愛發(fā)科真空泵、干泵CR Series Ver.B維修

用途 ● 鍍膜、濺射、離子鍍 ● 真空熱處理爐、溶解爐 ● 真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣